一、产品介绍

ZXL-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏。

二、主要技术指标

1.  最小可检漏率：5×10^-13Pa·m³/s

2.  漏率显示范围：1×10^-3—1×10^-13Pa·m³/s

3.  启动时间：≤3min

4.  响应时间：≤1s

5.  检漏口的最高压力：2000Pa

6.  极限压强：5×10^-4Pa

7.  电源要求：220V，50Hz，单相，10A

8.  工作环境：5-35℃

9.  相对湿度：≤80%

10. 外形尺寸：550（W）×450（D）×880（H）

11. 重量：65kg

三、主要配置

1. 进口检漏仪专用分子泵

2. 进口干泵

3. 配置标准漏孔

4. 美国AD放大器

5. 采用质谱专用模块

6. 台达触摸彩屏