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技术文章
常用氦质谱检漏方法

一,喷氦法
被检件与氦质谱检漏仪相连,用检漏仪的真空系统对被检件的腔体抽真空,在被检件外喷氦气,若有漏孔,氦气通过漏孔进入检漏仪被检测而显示有漏。由于检漏仪的响应很快(一般短于3秒),在漏率显示突然增高的一刻的喷氦位置就是漏孔的位置。

大容积试件的抽空检漏
被检试件的容积较小时,可以直接连到检漏仪,抽空检漏。但是当试件容积太大(100立升以上)时,由于表面积大,放气多,也可能有大漏,单靠检漏仪自身的排气系统,可能长时间抽不到可以转入检漏的真空。这种情况,常外接一辅助真空系统。

二,背压法
所谓背压法,是指被检试件充满氦气,或以某种方式注入氦气,然后放入一个与检漏仪相连,可抽空的真空箱内,试件若有泄漏,漏出的氦气直接进入检漏仪,而被检测。被压法检测的是总漏率,它不能确定漏孔位置。

三,吸入法
被检件充入高于大气压的探索气氦,检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体采集器。当试件有漏时,泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪,而被检测。吸枪在试件表面移动,同时注视检漏仪漏率指示的变化,一旦泄漏增加,吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。

四,真空箱法
真空箱用不锈钢制作,内表面有高的光洁度,可减少氦吸附。真空箱检漏法特别试用于被检试件内部结构复杂、放气量大、试件批量大、漏率要求严格和检漏节拍快等场合(如制冷压缩机、阀、歧管等),是工业规模生产最常用的检漏方法。